EUV 薄膜是半导体超精细加工领域的游戏规则改变者,在美国首次应对国内生产挑战

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EUV 薄膜是半导体超精细加工领域的游戏规则改变者,在美国首次应对国内生产挑战
EUV 薄膜是半导体超精细加工领域的游戏规则改变者,在美国首次应对国内生产挑战

韩国材料经理Joong-ki的目标是在美国德克萨斯州实现飞跃目标是三星电子泰勒工厂4纳米及以下FST 本地生产EUV速度的薄膜Dongjin Semichem和Soulbrain也在寻求材料供应

位于美国德克萨斯州泰勒的正在建设中的三星电子工厂。社长庆贤SNS放大照片
位于美国德克萨斯州泰勒的正在建设中的三星电子工厂。社长庆贤SNS

薄膜是雕刻半导体超精细电路的极紫外 (EUV) 曝光工艺中使用的关键部件。它保护每片价值数亿韩元的光掩模,并决定 EUV 曝光工艺的良率。据悉,目前完全依赖日本进口的EUV薄膜部件的国产化已迫在眉睫。国内公司FST正在开发的EUV薄膜预计将于今年下半年量产,该薄膜将在三星电子正在建设的美国工厂首次亮相。

三星电子最先进的代工(半导体寄售生产)工厂所在地美国德克萨斯州泰勒市,正在成为国内半导体材料、零部件和设备(材料和设备)的“机遇之地” )公司。在这个正在迅速崛起为高科技制造中心的地方,该公司正在与三星电子一起利用补贴和接触当地客户的方式进军美国。

据半导体行业25日消息,包括东进半导体、Soulbrain、FST、汉阳ENG在内的主要半导体制造公司提前决定前往泰勒。其他向三星电子供货的中小型制造公司也在考虑在三星泰勒工厂附近建设生产工厂。他们的策略是扩大销售网络,不仅向三星半导体工厂,而且向美国其他半导体公司推广全球营销,并获得验证国内中小型产品性能的机会。

三星电子接受美国政府补贴的4纳米泰勒工厂,与14-65纳米奥斯汀工厂(1996年成立)相比,其特点是引入了尖端工艺。预计超精细工艺将适用于已经与加拿大Tenstorrent和美国Groke签署的人工智能(AI)半导体合同。计划是通过进一步推进应对2-3纳米。为此,将使用荷兰ASML的EUV曝光设备等尖端设施。

包括FST在内的国内半导体制造企业正冒着生命危险挺进美国。三星电子的独家 3D NAND 光刻胶客户 Dongjin Semichem 正在基林市建设硫酸和稀释剂工厂。出于半导体晶圆清洗的目的,Dongjin Semichem计划各投资1亿美元建设两家工厂,并在第二季度内完工。预计它将成为一个生产基地,不仅向三星电子代工厂(奥斯汀和泰勒)供应材料,还向美国的潜在客户供应材料。 Dongjin Semichem 与三星电子一起,还参加了德克萨斯州半导体创新联盟执行委员会 (TSIC EC),该组织由德克萨斯州发起,旨在支持当地半导体公司。

Soulbrain是一家半导体材料公司,在美国德克萨斯州购买了一块大型场地。分析的目的是为三星电子位于泰勒市的新半导体代工厂建立稳定的供应系统。 Soulbrain 专门向三星电子供应化学机械抛光 (CMP) 浆料,这是一种高带宽内存 (HBM) 材料。 Soulbrain Holdings 去年年底在位于泰勒市的 RCR Taylor Logistics Complex 内购买了约 340,000 平方米的土地。

洁净室系统专家 Hanyang ENG 也在寻求飞跃。汉阳ENG是一家生产和安装洁净室管道、化学品中央供应设备(CCSS,高纯度化学品供应系统)、超纯水设备和超高压设备的公司。它被认为是管道施工和 CCSS 等领域的行业领导者。该公司为三星电子正在建设的平泽第3工厂和第4工厂的铸造生产线进行洁净室管道工程,并供应CCSS。一位公司官员表示:“我们还计划参与位于泰勒市的三星电子半导体工厂的洁净室建设。”

韩国最大的消耗材料采购机构 (MRO) 韩国 iMarket 正在泰勒市开展工业综合体开发项目。该公司的美国子公司iMarket America计划在泰勒市购买的858,000平方米土地上建设一个复杂的高科技工业综合体。计划在工业园区内提供各种共享设施,以便国内中小型制造企业进入该地区可以节省投资成本。一位公司官员解释说:“我们计划建设一个工业园区,以便首次进入该地区的半导体和电动汽车材料、零部件和设备公司可以轻松解决许可等复杂手续。”

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